浅谈真空覆膜机配置
真空镀膜机配置1， 真空泵（1台）又名;滑阀泵。旋片泵。也叫机械泵。
2， 萝滋真空泵（1台）
3， 油扩散泵（1台）,现在市场上出现分子泵。
4， 真空计（1台），
5， 带手调压电阀（1台）
6， 电炉（1个）
7， 脉冲偏压（1台）以前的是直流的。
8， 离子源有（6个的，10个，12个，18个）
9， 弧源有(6个，10个，12个，18个)
10， 真空炉体（1个）
11， 低真空阀门有（V1）
12， 高真空阀门有（V2，V3，V4）
13， V5是放气阀
14， 流量计有（4个）
15， 流量计控制仪（1个，同时控制4路气体）
16， 维持泵（1个，抽油扩散泵的）
17， 热电偶（2个。一个是测炉体温度。一个是测油扩散泵温度
18， 真空泵前面还有一个电磁阀，是挡油的。
19， 有的机器带磁控靶，有时是中频的，有的是射频的，有的叫柱状把，有的叫孪生靶。
